原理:

图像分析

脉冲光源，亚纳秒脉冲间隔¹

测试:

高速摄像

1024 x 1024 像素
最高帧速达450副/秒

量程镜头:

光学模块

2:1到1:10，自动对焦镜头

操作系统:

WINDOX 软件

WINDOWS 7, XP Professional

QA-系统:

检验：
标准样品

标准样：
SiC - P80  （X50=247微米）
SiC - P50  （X50=420微米）
SiC - P16  （X50=1600微米）